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石英坩埚的结构介绍

点击次数:   更新时间:18/11/07 09:39:11     来源:www.sdshiying.com关闭分    享:
  随着技术水平的提高,石英坩埚的生产技术也有了进一步的提高。石英坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。它存在两种结构:
  1、气泡复合层
  外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。
  2、气泡空乏层
  内侧则是一层3-5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
  通过上文的分析对石英坩埚的两种结构有了简单的了解,正是这两种结构的存在,提高了它的产品质量,也更加方便我们的使用。
小编:Diamond
整改日期:2019.1.14

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