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影响石英坩埚拉晶的因素

点击次数:   更新时间:18/11/29 10:44:11     来源:www.sdshiying.com关闭分    享:
  由于对石英坩埚的不当操作,会引起它变形;要是受到沾污、温度过高等引起析晶,就会造成其无法正常拉晶,那么下面来了解一下这两种情况分别对它有什么影响:
  变形对拉晶的影响
  1、石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到导流筒,轻则影响正常拉晶,严重时将无法拉晶;
  2、溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内凸出过多,当溶完料埚位上升到正常引晶位置时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶的严重后果;
  3、溶料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的情况。
  析晶对拉晶的影响
  1、石英坩埚内壁发生析晶时有可能破坏坩埚内壁原有的涂层,这将导致涂层下面的气泡层和熔硅发生反应,造成部分颗粒状氧化硅进入熔硅内,使得正在生长中的晶体结构发生变异而无法正常长晶;
  2、析晶将减薄石英坩埚原有的厚度,降低了坩埚的强度容易引起石英坩埚的变形。
  了解了以上两种情况对石英坩埚拉晶的影响,我们要尽量去避免,另外掌握产品的特性和使用的正确方法也是很重要的,这样在使用时才能够提高工作效率。
小编:Diamond
整改日期:2019.1.14

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