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单晶硅对石英坩埚的要求

点击次数:   更新时间:20/07/13 10:56:07     来源:www.sdshiying.com关闭分    享:
  没有接触过石英坩埚的人,是不明白单晶硅所起到的作用。下面,我们就来为大家具体介绍下单晶硅对石英坩埚的具体要求。
  石英坩埚的几何尺寸和外观取决于生产工艺,而纯度由原料确定。石英坩埚原料要求纯度高、一致性好,粒度分布均匀。只有原料优质,生产的石英坩埚质量才有保障。
  有害成分高时,会影响石英坩埚的熔制,影响其耐温性,还会出现气泡、色斑、脱皮等现象,严重影响石英坩埚质量。有害元素总含量高,还会产生气泡、白斑等缺陷,造成石英坩埚透明度下降。
  石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅,就用掉一只。因为单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,所以对石英坩埚的要求十分苛刻。
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