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熔融石英坩埚的烧成工艺特点与发展趋势

点击次数:   更新时间:19/09/20 10:43:09     来源:www.sdshiying.com关闭分    享:
  石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展
  多晶硅铸锭用石英坩埚的生产过程对烧制环节提出了严格的工艺要求,特别是用于准单晶铸锭用的熔融石英坩埚。
  多晶硅铸锭用石英坩埚的形态上的发展趋势是:大件、壁薄、冷却过程初始需要快速冷却。准单晶铸锭用的熔融石英坩埚还对产品提出了更高的综合性能,如更好的强度与热传导性、更低的显气孔率与热膨胀系数、更均匀的密度分布等等。
  对此,业界窑炉新推出了"复合脉冲燃烧控制技术"和"快速冷却系统",并将其应用至石英方坩埚窑炉(石英方坩埚梭式窑、石英方坩埚隧道窑)设备中,能使大件壁薄的石英方坩埚制品在升温与保温过程获得更均匀的热场和快速的冷却速度,大大提高石英方坩埚的烧成合格率。
  石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。
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