气泡对石英坩埚质量的潜在影响

点击次数：更新时间：24/11/25 10:56:11 来源：www.sdshiying.com 【关闭】分享:

石英坩埚为半透明状，分为外层，也叫气泡复合层（不透明层，气泡含量较多），以及中内层，也叫气泡空乏层（真空透明层，不含气泡，3~5mm）两层结构。外层需要把来自加热器的热量均匀散射，所以需要规定数量和大小的气泡，从而对硅熔体均匀加热；中内层是一层3-5mm的透明层，成为气泡空乏层，对高纯石英砂高纯、低铝、低碱、抗析晶的要求更高。石英坩埚的内壁因为与硅熔体接触，在高温状态下，若内壁存在气泡，气泡会导致气体和杂质从坩埚内释放到熔体中从而扰乱到单晶硅的生长。

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